建設(shè)百級(jí)無(wú)塵車間對(duì)凈化的要求

電子制造業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)是一項(xiàng)綜合性技術(shù)。為了達(dá)到合理設(shè)計(jì)、降低產(chǎn)品不良率、提高生產(chǎn)效率，有必要充分了解電子制造潔凈車間的特點(diǎn)。

電子制造車間的清潔度要求很高。溫度、濕度、風(fēng)量、壓差、設(shè)備排氣按需控制。照明及潔凈室段風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范控制。另外，這種潔凈室對(duì)靜電有極高的要求。嚴(yán)格的。其中，對(duì)濕度的要求更高。在過(guò)于干燥的車間內(nèi)極易產(chǎn)生靜電，對(duì)CMOS集成電路造成損壞。一般來(lái)說(shuō)，電子車間的溫度控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關(guān)的溫濕度規(guī)定）。此時(shí)，靜電能被有效地消除，使人感到舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間是電子制造業(yè)潔凈室的重要組成部分。由于電子產(chǎn)品在制造和生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和質(zhì)量有著極其嚴(yán)格的要求，主要控制顆粒物，以浮塵為主要對(duì)象，對(duì)環(huán)境的溫度、濕度、新風(fēng)量、噪聲等也有嚴(yán)格的規(guī)定。

百級(jí)潔凈室所需換氣次數(shù)：

100000級(jí)≥15次；

10000級(jí)≥20次；

1000≥30次；

100≥500次。

溫度要求：冬季>16℃；夏季<26℃；波動(dòng)±2℃。溫度45-65%；

壓差：主廠房至相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10100 0.3-0.5m/s；

GMP要求車間周圍的靜電濕度應(yīng)稍高些；車間內(nèi)的靜電濕度應(yīng)稍高些；

噪聲要求：噪聲≤65dB（A）；

新風(fēng)量要求：新風(fēng)量為總送風(fēng)量的10%-30%；

照度要求：照度300LX。

百級(jí)無(wú)塵車間的凈化要求主要依靠?jī)艋瘹饬鞑粩嘞♂屖覂?nèi)空氣，逐步排放室內(nèi)污染物，達(dá)到清潔效果。房間內(nèi)的氣流是非平行流動(dòng)，速度不均，混合有回流或渦流。不同級(jí)別的凈化車間主要通過(guò)單位時(shí)間風(fēng)量的差異來(lái)實(shí)現(xiàn)。